無塵室傳輸帶Conveyor與電梯

● 利用輸送帶、轉台、頂升台、與電梯的搭配可供半導體工廠更可靠且有效率的生產運輸環境

● 使用機構都符合無塵室測試，搭配特殊設計的磁力驅動，可讓此系統在Class 1 的環境下運行

● 此系統可以快速的連接工廠內的各樓層、生產間、和產線，透過與OHT、Mobile Robot和Stocker的搭配使用，可進一步實現無人工廠的環境